超精密花岗石空气主轴径向回转精度（以下简称主轴）可用作超精密加工机床或高精度计量仪器的主轴系统。由于气膜对轴系零件加工误差的平均作用，因而轴系装配后的回转精度可以高于零件精度。对主轴主要技术指标——主轴径向回转精度要求达到小于0.1μm。主轴采用先进的气体静压技术，径向轴承和双向止推轴承的各工作面均为静压气浮面，且经过严格的动平衡，因而实现了非接触的高精度回转，具有无振动、低噪音的特点。
这样高精度的指标，即使加工出来了，也难以测量出它的精度，因而给测量带来了极大的困难。通过几年的摸索、研究，终于用双向转位法测出了主轴径向回转精度（0.07μm）。现将测量方法介绍给读者。
测量精度分析 用双向测量法保留轴系一次直线谐和运动的消偏
轴系回转时，由于振动等动态因素或轴系的结构因素所造成的响应，其中有一次谐波的成份，这是轴系误差运动的组成部分，对轴系使用时的精度和性能是有影响的，因而是不该消除的，要区分不同性质的一次谐波，就得用双向测量法来测量轴系的回转误差，即传感器在间隔90°位置安装，从X与Y两个互相垂直的分量中来观察和判别，而采用单向测量法是无法进行判别的。 用平均值法减小偶然误差的影响
轴系回转时不可能没有误差，为了减小偶然误差的影响，测量时无论是反向前还是反向后都测3～5圈，然后取平均值。 用计算消偏法消除测量工具安装偏心所造成的安装误差
在测量轴系回转精度时，既使标准球调整得与轴系回转中心非常同心，但不可避免地还是存在不同心度，不同心度的偏摆被位移传感器接收，混入测量数值中，这是由于装调引起的，不是轴系的误差，必须在数据处理时予以消除，消除的原则是球安装不同心的偏摆量是一次谐波。因此用计算法消除一次谐波成份，也就消除了标准球安装位置不同的影响。 应用误差分离技术、EST、消除标准球不圆度的影响
在测量轴系的径向误差时，使用的是标准玻璃球作为工具球，因此测量数据中包含了工具球的不圆度，如果工具球的不圆度为轴系径向误差的三分之一以下，那么工具球的不圆度影响就可忽略不计。但是由于轴系回转精度的提高，已达到和标准球不圆度的数据相同甚至更高，很难制成精度更高的标准球。解决办法是采用误差分离技术，用适当的测量方法和数据处理方法，在测量数据中分离出消除工具球不圆度影响后的轴系径向误差。同时也可分离出消除轴系径向误差（主要是系统误差成份）影响的工具球不圆度。如果分离出的球不圆度和其它测量结果（如：圆度仪测量）基本相符，说明测量设备和测量方法是正确的、可靠的。按同样的测量原始数据分离出的轴系径向误差也是准确的。反之，就可以发现疑问，查找问题。我们从测量主轴的实例中可以看出，分离出的球的不圆度为0.057μm,和圆度仪测量的球不圆度0.05μm,基本相符，可以说我们的测量方法是正确可靠的，其轴系径向误差也是准确的。 | 
